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        1. CSPM8000原子力顯微鏡Logo

          工業大尺寸樣品

          原子力顯微鏡/掃描探針顯微鏡

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          工業大樣品原子力顯微鏡專利和軟著證書

          • 具有完整自主知識產權的工業大尺寸樣品掃描探針顯微鏡,探針掃描,滿足超大、超重樣品的檢測需求
          • 系統功能集成了原子力顯微鏡、橫向力顯微鏡、磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、壓電響應力顯微鏡、掃描開爾文探針顯微鏡和納米加工等功能
          • 具有接觸模式、輕敲模式、相移成像模式、橫向力(摩擦力)模式、抬起模式等多種工作模式和力-距離(F-Z)曲線、振幅-距離(RMS-Z)曲線、相移-距離(Phase-Z)曲線、摩擦力回路曲線、摩擦力載荷曲線、摩擦力恒載荷等測量分析功能
          • 檢測頭輕量化設計,結構剛性和固有頻率高,有效提升了掃描探針組件的穩定性
          • 探頭對稱結構設計,針尖固定于支承橫梁中點,能有效抑制環境溫度波動導致熱漂移
          • 采用電容傳感器的閉環壓電掃描臺,掃描的非線性和正交自動校正
          • 標準的12吋(300mm)樣品真空吸盤,吸盤具有軟件控制的多道真空吸軌,無需手動操作開關閥門,自適應2吋、3吋、4吋、6吋、8吋、10吋和12吋的不同規格的晶圓吸附固定
          • 高分辨輔助光學顯微定位,實時觀測與定位探針以及樣品掃描區域
          • 一次掃描技術,圖像分辨高達4096×4096物理象素,微米級掃描即可得到納米級的實際信息
          • 控制系統采用TI的DSP+RAM雙核信號處理器,內置二代的實時操作系統spm/DNA,全數字控制
          • 先進PID反饋算法實現快速高精度作用力控制,確保系統在高速掃描中穩定成像,實際掃描速度提升一個數量級,多重針尖保護技術,有效延長探針使用壽命
          • 系統采用10M/100M快速以太網(Fast Ethernet 10/100)或USB3.0與計算機連接
          • 主控機箱前面板具有16×4液晶顯示屏,實時顯示系統當前狀態
          • 具備實時在線三維圖像顯示功能,便于用戶在檢測過程中隨時直觀獲得樣品信息
          • 具有簡體、繁體和英文三種語言版本的在線控制軟件和后處理分析軟件,基于Windows 10系統開發,兼容Windows 11/8/7/Vista/XP全系列操作系統
          • 具備雙向掃描(Trace-Retrace)、往返掃描、線掃描等多種掃描模式,并具備自動更新掃描圖像亮度、對比度功能

          技術參數

          • 系統功能:原子力顯微鏡、橫向力顯微鏡、磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、壓電響應力顯微鏡、掃描開爾文探針顯微鏡和納米加工等功能
          • 工作模式:接觸模式、輕敲模式、相移模式、抬起模式(支持磁力和靜電力模式)、納米加工(圖形化刻蝕、壓痕/機械刻畫,矢量掃描)
          • 樣品尺寸:直徑12吋(300mm)/ 厚度30mm / 質量15kg
          • 樣品固定方式:300mm真空吸附樣品臺,自動適應各種尺寸晶圓的全軟件控制的多道真空吸軌,無需手動操作開關閥門
          • 進針模式:一鍵式全自動探針逼近,逼近精度:50nm/step
          • 檢測定位方式:軟件控制的行程300mm /精度5um二維工作臺,12吋無盲區精確自動定位
          • 掃描范圍:閉環100um×100um,傳感器:電容傳感器,閉環分辨率:優于0.5nm,線性度:優于0.02%
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